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镀锌风管——排气类型分类。

信息来源:www.tjguanghui.com   2021-09-26 15:22:38

你知道镀锌风管制造商的类型吗?以下列出了以下类型。
镀锌风管制造商。
(1)一般排气:机器发热,产生无害物质或高温气体,但考虑到洁净室空调和过滤设备的负荷,废气用一般风车排入大气环境,无需处理。注:GEX选用镀锌螺旋风管,HEX选用SUS304酸排(SEX),碱排(AEX)系统流程。
(2)酸碱排气:主要来自化学清洗站。清洗晶片时产生的挥发性气体含有浓烟,刺激呼吸系统。因此,必须用Scrubberubber清洗,然后通过风扇排放到大气中。
(3)有机溶剂排气:主要来源于涂胶、显影工艺和各工序有机溶剂清洗过程中,需要用有机废气处理设备处理,然后风扇排入大气。
(4)碱脱气:其主要来源是数组工程脱皮过程中使用的脱皮液。废气通过冷凝吸收器冷却废气中的去除液,冷凝器吸收处理的废气中含有的废气浓度会大大降低,然后送到CentralScrubber进行洗涤处理,再由风扇排入大气。
(5)紧:在洁净室机台端风管中,探头感应气体浓度过高时,紧急开启,使生产正常,保持室内环境。